项目名称:苏州晶瑞化学股份有限公司
项目系统:废气处理控制系统
废气处理模式:活性炭净化
项目介绍: 苏州晶瑞化学股份有限公司是一家生产销售微电子业用超纯化学材料和其他精细化工产品的上市企业。品种包括氢氟酸、过氧化氢、氨水、盐酸、硫酸、硝酸、异丙醇、冰醋酸、混合酸(硅腐蚀液、铝腐 蚀液、铬腐蚀液、BOE、金蚀刻液)氢氧化钾、氢氧化钠、配套试剂等。目前主要产品的纯度为,单项金属杂质含量小于0.1ppb。产品广泛应用于超大规模集成电路、LED、TFT-LCD面板制造过程、太阳能硅片的蚀刻与清洗。
参与的配套产品:变频控制柜、PLC控制柜、防爆箱、上位机组态监控系统。
本次项目昆山川浦机电有限公司作为优秀控制柜配套厂商,参与了废气处理系统的设计与制作。
本次废气处理系统为活性炭处理系统
控制设备主要有提升泵、循环泵、加药泵、风机、电动阀、电磁阀等
本次项目采用了西门子S7-200PLC系统,确保整套废气处理系统稳定的运行。
图控系统(SCADA)功能包括所有设备启 /停、系统设定值改变、控制 /监视重要参数、趋势图、实时警报、历史数据记录、统计及打印。
图控软件:亚控组态王6.55
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